אפלייד מטיריאלס חושפת מערכת חדשה וייחודית UVision5 לאיתור פגמים ביצור שבבים המותאמת לעידן המתקדם של שבבי 20 ננומטר

המערכת היא פרי פיתוח ישראלי; הפטנט עליו מבוססת המערכת, נבחר כאחד הפטנטים החשובים לאפלייד, ציון בו זוכים פטנטים בודדים מתוך כ- 10,000 פטנטים של אפלייד
איתי רוזנפלד, נשיא ומנכ"ל אפלייד מטיריאלס ישראל, האחראית על הפיתוח החדש: "חידושי מערכת ה- UVision 5 מאפשרים ליצרני השבבים למצוא את הפגמים המזעריים ובעזרת הבקרה המשופרת להגדיל את התשואה ולהקטין את זמן המחזור של יצור השבבים."

אפלייד מטיריאלס, המובילה העולמית בתחום פיתוח וייצור מערכות מתקדמות לתעשיית השבבים, חשפה היום את מערכת ה- Applied UVision® 5, מערכת חדשה ממשפחת ה- UVision המיועדת לצרכי בקרת איכות תהליכים לתעשיית השבבים. ה- 5 UVision מיועדת לעבודה בקווי ייצור המייצרים בתהליכים של 20 ננומטר (מיליונית המילימטר), הסטנדרט המשמש כיום יותר ויותר יצרנים מובילים בעולם.
מטרת המכונה היא לבצע סריקה של פרוסות הסיליקון המרכיבות את השבב בשלבים שונים של תהליך הייצור על מנת לוודא שהתהליך נקי מפגמים שיטתיים, שכמות הפגמים האקראיים נמוכה, ושהתהליך יציב ושיטתי על מנת לייצר שבבים בתנאים מחמירים של איכות. כל זאת על מנת להבטיח יכולות טכנולוגיות מתקדמות יותר ואמינות, תוך שמירה על עלויות ייצור נמוכות במגוון רחב של מוצרים טכנולוגיים.
עקרון העבודה של המכונה מבוסס על שני ערוצי גילוי הפועלים בו זמנית: הארת לייזר ואיסוף האור המוחזר (Brightfield – reflected) ואיסוף האור המפוזר (Greyfield –scattered) מפרוסת הסיליקון הנבדקת. שילוב הטכנולוגיות המתקדמות מאפשר איתור מספר כפול של פגמים קריטיים בהשוואה למערכות מהדור הקודם. הרגישות הייחודית ויוצאת הדופן מאפשרת ליצרני המוליכים למחצה להשיג שליטה איכותית יותר ויציבה יותר על ייצור הרכיבים הזעירים המאפיינים את תעשיית השבבים.
הטכנולוגיה החדשה של אפלייד מטריאלס מתמודדת עם האתגר המשמעותי איתו מתמודדים יצרני השבבים: ככל שרכיבי השבב קטנים יותר וצפופים יותר כך קשה ומורכב יותר לזהות בהם פגמים קריטיים. המשך פיתוח מכונות יעילות ומדויקות יותר מהווה בסיס הכרחי להמשך פיתוח וייצור של הדורות הבאים של מכשירים כגון הטאבלט והסמארטפון, מערכות רפואה, תקשורת, תשתיות וזיכרונות מכל הסוגים.
איתי רוזנפלד, נשיא ומנכ"ל אפלייד מטיריאלס ישראל, האחראית על הפיתוח האחרון מסר היום: "עם התקדמות הטכנולוגיה, פגמים זעירים שבעבר יכולנו להתעלם מהם הופכים לפגמים קריטיים. חידושי מערכת ה- UVision 5 מאפשרים ליצרני השבבים למצוא את הפגמים המזעריים הללו ובעזרת הבקרה המשופרת להגדיל את התשואה ולהקטין את זמן המחזור של יצור השבבים".
"אנו שמחים על המומנטום החיובי של מערכות ה- UVision5 בקרב לקוחותינו. יש לנו הזמנות חוזרות עבור מערכת זו, שכבר כיום רשמה שיאים בקרב יצרנים העושים שימוש בטכנולוגיית 20 ננו-מטר", הוסיף רוזנפלד.
חברת אפלייד מטיריאלס מדורגת ראשונה בדירוג הפטנטים לשנת 2011 של חברת הייעוץ Patent Board™ מבין כל חברות יצרני ציוד בדיקת השבבים. 51 פטנטים, המהווים למעלה מ- 10% מכלל הפטנטים שקיבלה אפלייד העולמית בשנת 2011, הגיעו מישראל. גם המערכת החדשה היא פרי פיתוח ישראלי והפטנט המרכזי עליו מבוססת המערכת נבחר כאחד הפטנטים המשמעותיים של החברה, מתוך כ- 10,000 פטנטים של אפלייד - הישג השמור לפטנטים בודדים בלבד.
מערכת 5 UVision מציגה גם יכולת חדשנית בחסכון בזמן, שתאיץ את הייצור של שבבים חדשים. אינטגרציה ללא מגע יד אדם, עם מערכת ה- SEMVision G5, שהושקה לפני מספר חודשים, מערכת צילום הפגמים המובילה בתעשייה, מציעה ליצרני המוליכים למחצה דרך מהירה ומדויקת ביותר למידע ספציפי ורלוונטי לאיתור מקור התקלות. בנוסף, המערכת יכולה לבצע שימוש חכם במידע המתקבל ממתכנני השבב וכך לתכנת טוב יותר את סריקת הפגמים, דבר המשפר את הביצועים וחוסך זמן רב.