פתרון המדידה של נובה נבחר על ידי 2 יצרני זכרון FLASH ויצרן שבבים מובילים

המערכות הותקנו במהלך החצי הראשון של שנת 2009; דיווחה גם על הזמנות נוספות למערכות דומות שהתקבלו בתחילת יולי
נובה מכשירי מדידה בע"מ (נאסד"ק: NVMI), ספקית פתרונות מטרולוגיה עצמאיים ופתרונות מטרולוגיה המשולבים עבור בקרת התהליכים בשוק המוליכים למחצה, הודיעה היום כי NovaScan, פתרון המטרולוגיה המשולב, הוטמע בתהליך בקרת הנחושת אצל שני יצרני זכרונות פלאש (FLASH) מובילים. המערכות הותקנו במהלך החצי הראשון של שנת 2009. החברה דיווחה גם על הזמנות נוספות למערכות דומות שהתקבלו בתחילת יולי מיצרן שבבים(Foundry) מוביל ויסופקו ללקוח במהלך הרבעון השלישי של 2009.

מדידת קו הנחושת במדויק באמצעות מערכות אופטיות (Optical CD) ושימוש בבקרת תהליך מתקדמת (APC), הביאו להידוק תהליך הנחושת ב-30%, דבר המסייע לעמידה בדרישות המזעור להן מחויבים יצרני השבבים לצורך עמידה ביעדיהם העסקיים. שיתוף פעולה עם הלקוחות אף הדגים פוטנציאל להידוק נוסף של התהליך על ידי שימוש במערכת מדידה עצמאית של נובה בהמשך התהליך.

"כחלק מהמעבר לטכנולוגיות ייצור מתקדמות החלו יצרני הזיכרונות לשלב נחושת בהתקנים על מנת לשפר את מהירותם תוך שהם נאלצים לעמוד ביעדי מזעור נוקשים. השימוש במערכות אופטיות (Optical CD) הינו אמצעי יעיל למדידה ובקרה בשלבים הרלוונטיים של התהליך", אמר נועם שינטל, מנהל השיווק בנובה. "עם פתרונות המטרולוגיה של נובה שכבר הוטמעו אצל יצרני שבבים (Foundries) וההטמעה המהירה של נחושת על ידי ייצרני זכרונות, אני רואה פוטנציאל גדול לפתרונות המטרולוגיה שלנו. באמצעות פתרונות המטרולוגיה של נובה ייצרני הזכרונות יכולים לשפר משמעותית את תהליך הנחושת ולהקטין את התנודתיות בתהליך בעשרות אחוזים, דבר המסייע לעמידה בדרישות הייצור".