נובה משיקה מערכת מטרולוגיה חדשנית עם יכולות ייחודיות למדידת שבבים באינטגרציה תלת מימדית

Nova V2600TM מאפשרת לראשונה מדידה מלאה של פרופיל התווך המקשר בין שבבים
טכנולוגיה חדשנית מביאה את יכולת שחזור הפרופיל של Optical CD למדידת שבבים באינטגרציה תלת מימדית

מאפשרת את המעבר לייצור של אינטגרציית תלת-מימד רב-שבבית על ידי בקרה הדוקה על תהליכי יצירת ה-TSV


רחובות, 11 ביולי 2012 - נובה מכשירי מדידה בע"מ (נאסד"ק: NVMI), ספקית מובילה של פתרונות מטרולוגיה עבור בקרת תהליכים בשוק המוליכים למחצה, הודיעה היום על פריצת דרך טכנולוגית שתאפשר ליצרני שבבים להאיץ פיתוח ולשפר את יכולות הייצור של אינטגרציות תלת מימד הנשענות על חיבורים בין שבב לשבב מסוג TSV (Through Silicon Via). מערכת המדידה החדשה Nova V2600, שהינה תוצר של שיתוף פעולה עם יצרניות שבבים מובילות, מאפשרת בפעם הראשונה מדידות מדוייקות של מאפייני TSV קריטיים כמו שיפוע הדופן, קוטר התחתית ועקמומיות התחתית. פתרון בקרת תהליך זה, לו חיכתה התעשייה מזה זמן, מאפשר מדידה מקיפה של מימדי ה-TSV במערכת מהירה המוכנה לסביבת ייצור בנפח גבוה, לקראת המעבר של תעשיית השבבים לייצור סדרתי של אינטגרציה רב-שבבית מסוג .3D integration

נובה פיתחה מספר טכנולוגיות לצורך אפליקציה מורכבת זו השוברות חסמים שמנעו בעבר שימוש בשיטות של Optical CD למדידת מבנים לא מחזוריים. בשונה מטכנולוגיות מתחרות הנשענות על הדמיה מוגבלת רזולוציה, שיטה ספקטרלית זו תוכל לשמש גם למדידת הדור הבא של ה- TSV עם קוטר הקטן מ- 5 מיקרון.

גבי זליגסון, נשיא ומנכ"ל נובה, אמר כי "אנו שמחים להיכנס לשוק האינטגרציה התלת מימדית עם מוצר מטרולוגיה בעל בידול תחרותי ברור. תגובת הלקוחות לטכנולוגיה, לביצועים ולתפוקת הייצור של המערכת היא יוצאת מן הכלל, ואנחנו מצפים לקבל מספר הזמנות בעתיד הקרוב מלקוחות מובילים לאחר הליך בחירה קפדני".

Nova V2600 תואמת לפלטפורמת ה- Modular MetrologyTM הפופולרית של נובה המאפשרת התקנת שתי יחידות מדידה במכונה קומפקטית אחת. פלטפורמה מהירה זו מספקת פיתרון מיטבי לחסכון בעלויות וגמישות תפעולית בסביבת ייצור סידרתי.